1997年11月,魔都,淵基地。
深秋的魔都,已有了幾分凜冽的寒意。但淵基地的總裝大廳裏,卻是一片熱火朝天的景象。
距離謝建軍定下的十二月之期,只剩不到六週時間。拂曉二代的整機聯調和優化工作,進入了最緊張、最關鍵的衝刺階段。
與初代拂曉相比,二代機的外觀變化並不大,但內部核心子系統,已經經歷了脫胎換骨的升級。
新的投影物鏡系統,採用了更大數值孔徑(NA0.85)的設計,鏡片數量更多,曲面更復雜,加工和裝配難度呈指數級上升。
浸沒單元也經過了重新設計,液體流速更快,溫控精度更高,對密封和抗污染的要求更加嚴苛。
工件臺系統則換裝了全新的直線電機,和磁懸浮減震系統,定位精度和運動平穩性,都有了顯著提升。
此刻,秦師傅正帶着幾位核心骨幹,圍在主控臺前,進行着今晚的第三次整機聯調。
每個人臉上都帶着掩飾不住的疲憊,但眼神卻依然銳利,緊緊盯着屏幕上跳動的各項參數。
“浸沒單元,液體循環穩定,溫控精度±0.005℃,氣泡含量低於檢出限。”負責浸沒系統的工程師報告。
“工件臺系統,空載定位精度優於3納米,帶載重複定位精度優於5納米。”負責工件臺的工程師緊隨其後。
“投影物鏡系統,波像差檢測完成,優於入/35,達到設計指標。”光學組的負責人聲音帶着一絲激動。
“照明系統,輸出功率穩定,光束均勻度達標。”
一項項自檢報告,如同戰前點兵,清晰而有力。每一個達標的背後,都是無數個不眠之夜,和無數次推倒重來的艱辛。
秦師傅沒有立刻下令,開始曝光測試。他走到那臺嶄新的投影物鏡前,俯下身,用一塊特製的麂皮,小心翼翼地擦拭着物鏡最下端,那片暴露在空氣中的鏡片表面。
儘管那裏理論上應該一塵不染。這是他多年來養成的習慣,一種近乎偏執的,對精度的敬畏。
做完這一切,他才直起身,走到主控臺前,深吸一口氣,沉聲道:“開始吧。”
一枚刻有更加精細測試圖形的十二英寸硅片,被機械臂無聲地送入工件臺。
浸沒單元啓動,一層厚度精確、溫度恆定,流動均勻的超純水,再次精準地填充在物鏡和硅片之間。
激光光源被點亮,深紫外光束經過複雜的光學整形後,穿透那層清澈的水膜,聚焦在硅片表面的光刻膠上。
工件臺開始按照預設的程序,進行高速、高精度的步進和掃描曝光。
這一次,掃描速度比初代拂曉快了將近一倍,而那層薄薄的水膜,在如此高速的運動下,依然保持着驚人的穩定性。
時間一分一秒地過去。整個曝光過程,持續了大約十五分鐘。
當工件臺完成最後一次步進,緩緩回到起始位置時,大廳裏,一片死寂。
秦師傅親自將曝光後的硅片,放入高倍顯微鏡下。他調整焦距,仔細觀察着光刻膠上顯現出的,那些比髮絲還要細上千百倍的線條。
一秒。
兩秒。
三秒。
他的肩膀,幾不可察地,微微顫抖了一下。
然後,他緩緩直起身,轉過身,看向在場的所有人。
他那張被風霜和歲月刻滿痕跡的臉上,肌肉微微抽搐,嘴脣哆嗦了幾下,才終於發出聲音,那聲音嘶啞得幾乎聽不清,卻帶着一種足以穿透一切的、火山噴發般的力量。
“線寬......”
“一百一十納米......”
“成功了......”
一百一十納米!
大廳裏,先是死一般的寂靜。所有人都像是被施了定身法,呆呆地站在原地,彷彿不敢相信自己的耳朵。
然後,比上一次更加猛烈,更加肆無忌憚的歡呼聲和嘶吼聲,如同山呼海嘯般,瞬間席捲了整個大廳!
有人放聲大哭,有人仰天長嘯,有人緊緊擁抱在一起,有人癱坐在地上,捂着臉,肩膀劇烈聳動。
那些頭髮花白的老專家,那些沉默寡言的老師傅,那些風華正茂的年輕工程師,此刻,都放下了所有的矜持和剋制,任由淚水,笑聲和嘶吼聲,匯成一片歡樂與解脫的海洋。
一百一十納米!
這不僅僅是數字上的進步。這意味着,拂曉二代的分辨率,已經達到了此時ASML最先進的,乾式ArF光刻機的同等水平,甚至略有超越。
更重要的是,它證明了浸沒式光刻這條技術路線,在龍國人的手中,是走得通的,而且可以走得很好!
秦師傅沒有加入狂歡的人羣。他默默地走到窗邊,他望着窗外魔都深秋的夜景,那座他奉獻了大半輩子的城市,此刻在夜色中,燈火闌珊。
他知道,從這一刻起,龍國,終於在全球高端光刻機,這個長期被少數西方巨頭壟斷的領域,有了真正可以上桌一較高下的籌碼。
他掐滅菸頭,拿起手機,撥通了那個熟悉的號碼。
電話接通,那頭傳來謝建軍沉穩的聲音:“秦師傅,怎麼樣了?”
秦師傅沉默了片刻,用他那沙啞的嗓音,緩緩說道:“謝總,幸不辱命。”
“一百一十納米,跑通了。”
電話那頭,是長久的沉默。
然後,他聽到謝建軍的聲音,帶着一絲他從未聽過的,微微的顫抖:“好。”
“好啊!”
“秦師傅,我代表未名軒轅,代表所有期待着這一天的龍國人......”
“謝謝你!”
秦師傅的眼眶,瞬間有些溼潤。他沒有再說話,只是默默地掛斷了電話。
窗外,魔都深秋的夜空,繁星點點。
而在那間燈火通明的大廳裏,一羣龍國人,剛剛用自己的智慧和汗水,在人類半導體技術的宏偉畫卷上,重重地刻下了屬於自己的一筆。
1997年12月初,魔都浦東國際機場。
一架沒有任何航空公司標識、塗着啞光灰色塗裝的灣流公務機,靜靜地停在專用停機坪上。登機梯旁,站着幾個人。
謝建軍穿着一件深灰色的羊絨大衣,手裏拎着一個並不沉重的黑色手提箱。
箱子裏,沒有換洗衣物,沒有個人用品,只有一臺經過特殊加固的筆記本電腦,以及一塊用防靜電薄膜層層包裹的、巴掌大小的硅片。
那是拂曉二代剛剛跑出的、線寬110納米的測試樣片。這是他此行新加坡,最重要的籌碼。
陳向東站在他身後半步的位置,同樣穿着一身正裝,神情略顯緊張。
這是他第一次參與如此高級別的國際商務談判,對手還是ASML這樣的全球頂級巨頭。
劉欣沒有隨行,她留在京城繼續帶領朱雀算法團隊進行優化,爲下一步更先進的製程節點做準備。
鄭律師則先期飛往新加坡,與ASML方面敲定最後的會晤細節,和安保安排。
“謝總,時間差不多了。”一位隨行的安保人員輕聲提醒道。
謝建軍點了點頭,最後看了一眼浦東國際機場繁忙的跑道,以及遠處那座初顯繁華的城市輪廓。然後,他轉過身,踏上了舷梯。
灣流公務機的引擎發出低沉的轟鳴,緩緩滑向跑道。加速,抬頭,起落架收起,飛機輕盈地脫離地面,衝向冬日晴朗的天空。
陳向東坐在靠窗的位置,望着窗外逐漸變小的大地和海岸線,心中感慨萬千。
幾個月前,他還在爲朱雀算法的一個收斂性問題而徹夜難眠。
而現在,他卻正飛往一個陌生的國度,去與這個星球上最強大的光刻機公司,進行一場足以影響未來數十年,全球半導體產業格局的對話。
這一切,都發生得太快,快到讓他有時感覺有些不真實。
“緊張嗎?”坐在對面的謝建軍,彷彿看穿了他的心思,開口問道。
陳向東老實地點了點頭說道:“有一點。畢竟,我們這次要面對的,是ASML。”
“ASML也是人組成的。是人,就會有弱點,有顧慮,有算盤。”謝建軍端起空乘剛剛送來的熱茶,輕輕抿了一口,語氣平淡的說道。
“我們這次去,不是去求他們什麼的。我們是去告訴他們,這個世界上,除了他們之外,還有另一種選擇。
而這個選擇,現在已經具備了實實在在的,可以與之競爭的實力。”
他放下茶杯,目光落在陳向東臉上,帶着一絲鼓勵和期許:“記住,向東。談判桌上,實力決定一切。而我們手裏,有他們最想要的東西,也有他們最害怕的東西。這就足夠了。”
陳向東細細咀嚼着謝建軍的話,心中的緊張感,不知不覺消散了許多。是啊,他們手裏有ASML夢寐以求的浸沒式光刻核心專利,有已經跑通110納米線寬的工程樣機,有正在快速迭代的計算光刻軟件......這些,都是實實在
在的籌碼。他們不是空着手去乞求合作的。
飛機穿過雲層,陽光透過舷窗,灑進機艙,一片燦爛。
陳向東靠在舒適的座椅上,閉上眼睛,開始在心裏默默演練着可能遇到的提問和應對策略。
他知道,接下來的幾天,將是他人生中,最重要的一場考試。
而此刻,在新加坡市中心一家頂級酒店的總統套房內,鄭律師正與ASML的先遣團隊,就會晤的最終流程和安保細節,進行着最後的確認。
雙方都彬彬有禮,措辭嚴謹,但空氣中,卻瀰漫着一種看不見的,如同繃緊的琴絃般的張力。
一場註定將載入全球半導體產業發展史冊的會晤,即將拉開帷幕。
1997年12月,新加坡,香格裏拉大酒店。
熱帶島嶼的午後陽光,透過落地窗的紗布,在會議室深褐色的柚木地板上灑下斑駁的光影。
窗外是酒店佔地廣闊的園林,綠意盎然,鳥鳴啁啾。但會議室內,氣氛卻與窗外的悠閒景緻截然不同。
長長的會議桌一側,坐着謝建軍、陳向東和鄭律師。
另一側,則是以ASML的CTO範德文爲首的四人代表團,其中包括一位頭髮花白、氣質沉穩的首席專利律師,以及兩位負責技術和市場戰略的高級總監。
這是雙方最高決策層的第一次直接會面。沒有冗長的開場白,沒有過多的寒暄。
在簡短的相互介紹和禮節性握手之後,範德文便直入主題。
“謝先生,首先,請允許我代表ASML,對貴方在浸沒式光刻技術領域取得的成就,表示祝賀。”範德文的英語帶着一些荷蘭口音,但措辭標準而流暢。
“貴方在如此短的時間內,從理論驗證到原型機成功曝光,所展現出的技術實力和執行效率,令我們印象深刻。”
“範德文先生過獎了。”謝建軍微微一笑,不卑不亢的說道:“我們只是在一個正確的技術方向上,做了一些應該做的工作。
與ASML數十年的技術積澱相比,我們還有很長的路要走。”
“謝先生謙虛了。”範德文身體微微前傾,目光變得更加專注的說道:“既然我們雙方都認可浸沒式光刻,是通往下一代製程的關鍵技術路徑,那麼,我想,我們就沒有必要在那些無關緊要的細節上,浪費時間了。
我們這次來,是希望能夠與貴方,就如何共同推動這項技術的發展,以及如何建立一個公平、合理、互利共贏的合作框架,進行深入的探討。”
他頓了頓,目光掃過謝建軍身邊的陳向東和鄭律師,然後重新落回謝建軍臉上:“我們仔細研究過貴方提出的非約束性意向書。
坦率地說,貴方在專利授權費用,和組件供應方面提出的條件,遠遠超出了我們能夠接受的範圍。
我們理解貴方希望將技術優勢,轉化爲商業回報的訴求,但任何合作,都必須建立在雙方都能夠接受的基礎之上。”
範德文的開場白,綿裏藏針。他首先肯定了對方的成就,釋放了善意,然後立刻切入最核心的分歧點,表明瞭己方的強硬立場,試圖在談判一開始,就掌握主動。
謝建軍靜靜地聽完,臉上沒有任何表情變化。他端起面前那杯散發着淡淡茉莉花香氣的熱茶,輕輕抿了一口,然後放下茶杯,目光平靜地迎向範德文。
“範德文先生,我完全同意您的看法,任何合作,都必須建立在雙方都能夠接受的基礎之上。”他不疾不徐地開口,聲音不高,卻清晰地傳遍了會議室的每一個角落。
“那麼,我想首先確認一下,貴方是否認可,我們在浸沒式光刻技術領域,所擁有的核心專利的有效性,以及這些專利對於實施浸沒式光刻技術的必要性?”
這個問題,如同一把精準的手術刀,直接切入了ASML最不願意正面回應的話題。
如果他們承認了對方專利的有效性和必要性,那麼在後續的授權費談判中,將陷入極大的被動。
如果他們否認,那麼就必須拿出令人信服的反駁證據,而這正是他們目前最欠缺的。
範德文和他的首席專利律師迅速交換了一個眼神。後者清了清嗓子,正準備開口,謝建軍卻彷彿沒有看到他們的反應,自顧自地繼續說下去:
“爲了節省各位的時間,我想,我們可以先看一些東西。”
他向陳向東示意了一下。陳向東會意,打開隨身攜帶的手提箱,取出一臺加固筆記本電腦,以及一塊用防靜電薄膜包裹的硅片。
他將硅片小心翼翼地放在會議桌中央,然後連接好電腦,將一幅清晰的掃描電子顯微鏡圖像,投影在會議室牆上的大屏幕上。
圖像上,是一排排線條清晰、邊緣銳利、間距均勻的納米級線條。圖像的左下角,標註着一行小字: “Line/Space = 110nm / 110nm. Exposure Tool:拂曉’Gen-II (Immersion). Date: Nov 28,1997.”
“這是我們上週剛剛完成的一次曝光測試的結果。”謝建軍的聲音,依然平靜,卻彷彿帶着一種無形的重量。
“在十二英寸硅片上,實現了110納米等寬等距線條的穩定曝光。整機分辨率,套刻精度和產能,均已達到初期設計指標。”
他頓了頓,目光掃過ASML代表團每一位成員的臉,將他們臉上那難以掩飾的震驚、凝重和複雜情緒,盡收眼底。
“我們帶着這份成果,不遠千里來到新加坡,不是爲了炫耀,更不是爲了威脅。”謝建軍的聲音,帶上了一絲誠摯。
“我們是真心希望能夠與ASML這樣優秀的公司,共同探索一條能夠充分發揮雙方優勢,共同推動浸沒式光刻技術,早日走向成熟和普及的合作道路。”
“但是,”他話鋒一轉,語氣變得堅定而不容置疑的說道:“任何合作,都必須建立在相互尊重,和承認對方核心價值的基礎之上。
我們願意在合理的條件下,與ASML分享我們的技術成果。但我們絕不會接受,任何試圖貶低我們技術價值,或者試圖以不公平條件,獲取我們核心知識產權的方案。”
“這就是我們的底線。”
“也是我們這次來新加坡,希望與貴方達成的共識。”
謝建軍說完,會議室裏,陷入了長久的沉默。
範德文的目光,死死地盯着屏幕上那張110納米線寬的SEM圖像,彷彿要將它每一個細節都刻入腦海。他帶來的幾位隨行人員,也各自面色凝重,低聲交談着。
他們來之前,已經對拂曉項目的技術水平,做了儘可能高的估計。但他們萬萬沒有想到,對方的進展,竟然比他們最樂觀的預測,還要快,還要好。
110納米,這已經接近ASML此時最先進的乾式ArF量產機型的水平了。而對方,用的還是一臺工程樣機!
這意味着,他們之前準備的那些繞開專利、技術替代的方案,在絕對的技術實力差距面前,顯得如此蒼白無力。
範德文緩緩摘下眼鏡,用一塊麂皮絨布,仔細地擦拭着鏡片。他的動作很慢,彷彿在藉此平復內心的波瀾。
良久,他重新戴上眼鏡,看向謝建軍,目光中,那種初來時的銳利和自信,已經消退了不少,取而代之的,是一種更加複雜,更加審慎的神色。
“謝先生,”他開口,聲音比之前低沉了許多:“您提供的這份數據,非常有說服力。
我想,我們需要一些時間,對貴方展示的成果,進行獨立的評估和驗證。
同時,我們也會基於這份新的信息,重新評估我們之前的合作方案。”
他頓了頓,補充道:“我建議,我們明天繼續進行第二輪會談。屆時,我希望我們能夠提出一些更具建設性的想法。”
謝建軍點了點頭說道:“好的,範德文先生。我們期待着與貴方進行更深入的交流。
第一輪會談,在一種表面平靜,實則暗流湧動氣氛中,暫時告一段落。
走出會議室,陳向東長長地舒了一口氣。剛纔在談判桌上,他雖然努力保持着鎮定,但手心其實早已滿是汗水。
他第一次切身感受到,那種在頂級商業博弈中,用實力和技術說話所帶來的力量和自信。
“謝總,您覺得,ASML那邊,會接受我們的條件嗎?”他低聲問走在前面的謝建軍。
謝建軍沒有回頭,只是淡淡地說了一句:
“他們會的。”
“因爲他們別無選擇。”