1998年4月,京城,未名科技大廈頂層。
春意漸濃,窗外的梧桐樹已抽出嫩綠的新芽。但謝建軍的辦公室裏,氣氛卻比任何一個寒冬都要凝重。
鄭律師剛剛送來了一份加密情報,此刻正坐在沙發上,臉色嚴峻。
情報的來源,是他們在歐洲專利情報網絡中,安插的一位資深線人。內容只有短短幾行,卻如同一塊千鈞巨石,壓在人心頭。
“ASML已啓動暗流計劃第二階段,動用其在歐洲和美國政商界的人脈資源,試圖將浸沒式光刻技術相關問題,提交至瓦森納協定(Wassenaar Arrangement) 常規武器及兩用物資和技術出口管制清單的審議議程。
一旦成功,所有涉及浸沒式光刻核心技術的設備、材料、軟件及技術資料的跨境轉移,都將受到嚴格管制。”
瓦森納協定。
這個名字,對於經歷過巴統時代,技術封鎖的龍國科技工作者來說,絕不陌生。
它是一個由美國主導,包括歐洲主要國家,和日國在內的42個國家參與的全球性出口管制機制,旨在限制特定敏感技術和物資,向某些國家轉移。
如果ASML真的成功推動了,將浸沒式光刻技術納入瓦森納協定的管制清單,那麼,他們辛辛苦苦建立起來的、與寶積電剛剛萌芽的合作關係,將面臨滅頂之災。
所有涉及核心技術的交流、設備出口、專利授權,都將受到成員國法律的嚴格限制,甚至直接被禁止。
“ASML這一招,夠狠。”謝建軍放下情報,手指輕輕敲擊着桌面,臉上看不出太多情緒波動,但熟悉他的人都知道,這是他內心極度不平靜時的習慣性動作。
“他們知道在技術和專利層面,短期內無法擊敗我們,就想從規則層面,直接把我們的路堵死。”
“謝總,如果ASML真的成功了,我們與寶積電的合作,恐怕......”鄭律師沒有把話說完,但其中的擔憂,已經不言而喻。
“瓦森納協定不是ASML一家開的。”謝建軍沉默了片刻,緩緩開口,聲音帶着一種沉靜的,彷彿早已預料到這一刻到來的力量。
“它是一個多邊協商機制。任何一項新技術被納入管制清單,都需要所有成員國的同意。
ASML在荷蘭和歐洲有一定的影響力,但還遠遠做不到一手遮天。”
他站起身,走到窗前,望着窗外京城春日的景象,目光變得異常深邃的說道:“更何況,瓦森納協定主要管制的是有形商品,和可直接用於軍事目的的技術的跨境轉移。
我們與寶積電的合作,目前主要集中在技術交流和聯合研發層面,不涉及核心設備的直接出口。
只要我們不主動觸碰紅線,他們想用瓦森納協定來卡我們,也沒那麼容易。”
他轉過身,看向鄭律師說道:“鄭老,您在歐洲的情報網絡,要繼續加強監控。
重點關注瓦森納協定下一次全體會議的議程安排,以及ASML在相關成員國政府中的遊說動向。我們要做到知己知彼。”
“明白。”鄭律師鄭重地點了點頭。
“另外,”謝建軍補充道:“通知劉欣和陳向東,原定的技術研發節奏,不能受到任何影響。
ASML越是想用規則來束縛我們,我們越是要加快技術突破的步伐。
只有當我們手中的技術足夠領先,領先到讓他們無法忽視,無法繞開的時候,任何規則和管制,都將在絕對的實力面前,變得蒼白無力。”
他頓了頓,目光變得更加堅定:“告訴秦師傅,拂曉三代的預研工作,要再提速。
我們的目標,不僅僅是追趕ASML,而是要超越他們。”
鄭律師離開後,謝建軍獨自一人,站在窗前,眺望着遠方。他知道,一場新的、更加複雜和艱鉅的戰鬥,已經打響。
這一次,對手不再僅僅是ASML這樣的商業巨頭,而是他們背後所代表的,一整套由西方主導的全球技術治理體系和遊戲規則。
但他並不畏懼。因爲他深知,真正的核心技術,是買不來、求不來,也封鎖不住的。
它只能靠自己,一步一個腳印,腳踏實地地去攻克,去掌握。
窗外,春風拂過,帶來泥土和草木的氣息。
那片他深愛的土地,正在甦醒,正在積蓄着足以衝破一切封鎖和阻礙的力量。
1998年5月,魔都,淵基地。
ASML試圖通過瓦森納協定,進行規則封鎖的消息,如同一片烏雲,籠罩在每一個知情者的心頭。
但淵基地的生產和研發節奏,並未因此受到絲毫影響。
相反,一種更加強烈的緊迫感和使命感,如同無形的燃料,注入了每一個人的血液。
秦師傅已經連續數週沒有離開過基地了。他的生活軌跡,簡化到了極致,車間、辦公室、臨時宿舍,三點一線。
他原本就清瘦的臉龐,如今更加棱角分明,眼窩也深深凹陷下去,但那雙佈滿血絲的眼睛,卻依然銳利如鷹。
他正帶領着團隊,對拂曉二代機進行着又一輪關鍵的硬件升級。
這一次升級的重點,是投影物鏡系統。他們要將數值孔徑,從當前的0.85,進一步提升到0.93以上。
這看似只有0.08的提升,對光學設計、鏡片加工、系統裝配和檢測,都提出了近乎苛刻的要求。
“秦師傅,第三組鏡片的偏心誤差,始終無法收斂到設計值以內。”一位負責裝配的年輕工程師,滿頭大汗地跑來報告。
“我們已經反覆調整了三次,每次都差那麼一點點。”
秦師傅放下手中的測量工具,跟着年輕工程師走到裝配工位前。他沒有立刻動手,而是先繞着那臺巨大的物鏡鏡筒,緩緩走了一圈,仔細觀察着每一個接口和緊固件的位置。
然後,他俯下身,從一個不起眼的工具箱底層,翻出了一把看起來頗有年頭,手柄已經被磨得包漿的黃銅小錘。
他沒有用這把小錘去敲打任何部件,而是將它輕輕抵在自己的顴骨上,閉上了一隻眼睛,透過鏡筒側壁上一個極其微小的、用於觀察和校準的窗口,仔細端詳着鏡片組之間的相對位置關係。
這個動作,是他年輕時跟一位蘇聯老專家學來的土辦法。在沒有先進干涉儀和激光對準儀的時代,老一輩精密裝配工人,就是靠着一雙銳利的眼睛,一把順手的小錘、以及數十年積累的經驗和手感,將一個個精密部件,裝配
成達到設計要求的光學系統。
他保持這個姿勢,一動不動地,持續了將近三分鐘。
然後,他放下小錘,睜開眼,走到裝配工位前,伸出那雙佈滿老繭和細小傷痕的手,極其輕微地,調整了鏡筒外壁上幾個不起眼的調節螺絲,每一個調整的幅度,都只有幾微米,甚至更小。
“好了,再測一次。”他平靜地說道。
年輕工程師半信半疑地重新啓動了激光幹涉測量儀。當測量結果出現在屏幕上時,他忍不住發出了一聲低低的驚呼偏心誤差,竟然真的收斂到了設計值以內!
“秦師傅,您……………您是怎麼做到的?!”他難以置信地問道。
秦師傅沒有回答,只是淡淡地笑了笑,那笑容裏,帶着一絲難以言喻的,屬於老一代手藝人的驕傲和落寞。
他沒有解釋,也解釋不清楚。那種感覺,就像一位經驗豐富的老中醫,通過望聞問切,就能判斷出病根的所在。
這是一種無法用語言精確描述、只能依靠日積月累的實踐和感悟,才能獲得的手感。
“繼續幹活吧。”他拍了拍年輕工程師的肩膀,轉身走向另一個工位。
類似的場景,在淵基地的各個角落,每天都在上演。沒有豪言壯語,沒有驚天動地的壯舉,只有一羣默默無聞的工程師和工人,用他們精湛的手藝和近乎偏執的堅持,一點一點地,將拂曉的性能推向極致。
而在千裏之外的京城,星火基地的計算光刻實驗室裏,同樣在進行着一場沒有硝煙的戰。
陳向東和劉欣,正帶領着朱雀算法團隊,對一套全新的、針對0.93數值孔徑浸沒式光刻系統優化的計算光刻模型,進行最後的收斂性測試。
屏幕上,數百萬個網格節點,在複雜的算法驅動下,如同一個精密的星系,在進行着高速而有序的運算。
時間一分一秒地過去。當屏幕上終於跳出Convergence Achieved的綠色提示符時,整個實驗室裏,爆發出一陣壓抑已久的歡呼聲。
陳向東摘下耳機,用力揉了揉因爲長時間盯着屏幕而有些酸澀的眼睛,長長地舒了一口氣。
他知道,這不僅僅是一次算法優化的成功。這意味着,朱雀算法,已經初步具備了支撐拂曉三代機研發的能力。
他拿起電話,撥通了魔都淵基地的專線。
電話接通,那頭傳來秦師傅略微沙啞的聲音:“喂?"
“秦師傅,是我,向東。朱雀這邊,0.93數值孔徑的模型,跑通了。”
電話那頭,沉默了幾秒鐘。然後,傳來秦師傅那帶着一絲笑意,卻依然沉穩的聲音:
“好。我們這邊,物鏡的裝配和調試,也基本完成了。就等着你們的眼睛和大腦,來指揮我們這副骨架了。”
兩簇相隔千裏的星火,在各自的戰場上,幾乎同時取得了關鍵的突破。
它們遙相呼應,彼此照亮,匯聚成了一股更加明亮、更加堅定的光芒。
ASML的規則封鎖,如同高懸頭頂的利劍,依然威脅着他們的每一步。
但在淵基地和星火基地的每一個角落,一種更加深沉、更加堅韌的力量,正在破土而出,茁壯成長。
那是一種,任何規則和封鎖,都無法禁錮的力量。
1998年6月,荷蘭,海牙。
瓦森納協定總部所在地,一座外表低調、內部戒備森嚴的建築。
在一間鋪着深色地毯,牆上掛着低地國家古典油畫的會議室裏,一場關於是否將浸沒式光刻技術及相關設備、軟件納入出口管制清單的閉門審議會,正在緊張地進行。
ASML的遊說團隊,在過去兩個月裏,幾乎動用了他們能夠動用的所有資源和關係。
他們聘請了最頂尖的遊說公司,穿梭於荷蘭外交部、歐盟委員會,以及美國商務部之間,反覆強調浸沒式光刻技術的潛在軍事用途,和對國家安全的重要性,試圖說服各成員國代表支持,將其納入管制清單。
然而,事情的發展,並沒有ASML預想的那麼順利。
出乎意料的是,首先站出來明確表示反對的,並不是龍國,而是寶積電所在的寶島地區的代表,(以龍國寶島名義參與部分會議,以及寒國和新加坡的代表。
他們的理由很簡單,也很直接,浸沒式光刻技術,是下一代半導體制造的核心技術。
將其納入嚴格的出口管制清單,將嚴重阻礙全球半導體產業的正常技術交流和商業合作,損害包括他們本國,地區在內的全球半導體產業鏈的利益。
他們呼籲各成員國,在做出決定之前,進行更加充分和審慎的評估,避免將技術問題政治化。
寶積電和寒國三星、SK海力士等半導體巨頭的幕後遊說,顯然發揮了作用。
他們同樣不希望看到全球光刻機市場,被ASML一家完全壟斷,更不希望因爲過於嚴格的出口管制,影響到他們自身獲取先進光刻技術的渠道和成本。
與此同時,一些歐洲國家的代表,也對ASML的提議表示了保留。他們擔心,過於激進的出口管制措施,可能引發與龍國的貿易摩擦,損害歐洲企業在龍國的巨大商業利益。
畢竟,龍國市場對於許多歐洲高科技公司來說,是不可或缺的重要收入來源。
會議持續了整整一天,各方爭論激烈,未能達成任何共識。
最終,主席國代表宣佈,將浸沒式光刻技術的出口管制問題,推遲到下一次全體會議繼續審議。
實際上,這相當於將該議題無限期擱置。
消息傳出,ASML總部一片沮喪。CEO在辦公室裏沉默了很久,然後緩緩摘下眼鏡,用力揉着眉心。
他知道,他們試圖通過規則封鎖,來扼殺那個東方幽靈的計劃,至少在短期內,已經失敗了。
他們不僅沒能成功推動管制,反而讓那個幽靈藉機擴大了,其在全球半導體產業鏈中的影響力和知名度。
而在魔都,淵基地,當謝建軍從鄭律師那裏得知,瓦森納協定的審議結果時,他只是微微一笑,並沒有表現出太多的驚喜或意外。
彷彿這一切,早在他的預料之中。
“ASML想用規則來鎖死我們,但規則本身,也是由人來制定和執行的。”他放下情報,端起茶杯,輕輕抿了一口。
“只要有人不希望看到ASML一家獨大,只要有人希望在全球光刻機市場中,保留更多的選擇和競爭,我們的存在,就有價值。”
他放下茶杯,目光投向窗外,那片沐浴在夏日陽光下的基地廠房:“現在,該輪到我們,來利用這個窗口期,做點什麼了。”
他拿起桌上的保密電話,撥通了一個號碼。
“倪老嗎?是我。有個想法,想跟您商量一下。”
幾天後,一份由二專辦牽頭,聯合了國內多家頂尖光學、精密機械、材料科學和製造工藝研究機構的,浸沒式光刻技術國家工程研究中心組建方案,被正式提交給了更高層的主管部門。
方案的核心內容是:以拂曉項目團隊爲核心,整合全國在上述領域的優勢科研力量,組建一個國家級的、開放式的、產學研用相結合的工程技術研發平臺。
集中力量攻克浸沒式光刻技術在工程化、產業化進程中面臨的一系列共性關鍵技術難題,並以此爲依託,培養一支具有國際競爭力的,高端光刻技術研發和工程化人才隊伍。
這份方案,得到了最高層的高度重視和迅速批覆。一個由國家部委直接撥款和支持,匯聚了全國頂尖科研力量的浸沒式光刻技術國家工程研究中心,在星火和淵基地的基礎上,正式掛牌成立。
消息傳出,在全球半導體產業界,再次引發了不小的震動。
ASML、尼康、佳能等巨頭,都清晰地感受到了來自東方的、越來越強烈的競爭壓力。
那個曾經被他們忽視,甚至嘲笑的幽靈,如今,已經正式登上了全球科技創新的國家舞臺,擁有了更加雄厚的技術和資金後盾。
而對於謝建軍和拂曉團隊來說,這只是一個新的開始。他們清楚地知道,真正的挑戰,還在前方。
ASML絕不會就此善罷甘休。他們一定會尋找新的突破口,試圖重新奪回失去的主動權。
但無論如何,他們已經在全球高端光刻機,這個長期被西方巨頭壟斷的領域,成功地撕開了一道屬於自己的、不斷擴大的口子。
那透過口子照射進來的,是希望的曙光,也是更加激烈競爭的戰火。