次日上午,埃因霍溫,ASML總部。
一輛黑色的轎車,緩緩駛入ASML總部園區。
劉欣坐在後排,透過車窗,打量着這個在全球半導體產業中,如雷貫耳的名字所代表的實體。
園區佔地面積很大,建築風格現代而簡潔,綠化極好,與其說是一家工廠,不如說更像一所寧靜的大學校園。
轎車在一棟外觀頗具設計感的建築前停下。德弗裏斯先生親自爲她拉開車門,引導她穿過一道不算顯眼的自動門,經過簡單的訪客登記和安檢流程後,進入了建築內部。
與外觀的寧靜不同,建築內部充滿了,高效運轉的科技公司的氣息。
走廊裏,穿着各色服裝的員工步履匆匆,低聲交談着。
牆壁上,隨處可見各種光刻機的海報,和技術示意圖,彷彿在無聲地宣示着這家公司,在光刻領域的絕對統治地位。
德弗裏斯將她帶到一間,中等規模的會議室。
會議室裏,已經坐着七八個人,有男有女,大多穿着商務休閒裝,神情各異。
看到劉欣進來,他們都站起身來,禮貌地表示歡迎。
範德文CTO也在其中。他主動迎上前來,與劉欣握手說道:“劉博士,歡迎來到ASML!請允許我向你介紹,我們浸沒式光刻技術團隊的核心成員。”
他一一向劉欣介紹了在場的幾位ASML專家。每一位都有着耀眼的學術背景,和豐富的產業經驗。
有的是光學設計領域的權威,有的是精密機械與控制系統的專家,還有的是材料科學,和流體力學方面的翹楚。
這支團隊的配置,堪稱豪華,充分展現了ASML,在光刻技術領域深厚的人才儲備。
介紹完畢後,範德文示意大家落座,然後看向劉欣,微笑着說道:“劉博士,按照我們昨天的約定,今天的交流會,我們首先想聽聽您和您的團隊,在計算光刻領域的最新研究成果。我們對此非常感興趣。”
劉欣點了點頭,從容地打開自己的筆記本電腦,連接上會議室的投影設備。
她沒有立刻開始演講,而是先環顧了一圈,在座的ASML專家們,然後緩緩開口說道。
“感謝範德文先生,和各位專家的熱情接待。在開始我的報告之前,我想先分享一個小小的故事。”
她頓了頓,繼續說道:“在我很小的時候,我的祖父,一位參加過抗美援朝戰爭的老兵,曾經告訴過我一句話。
他說:‘真正的尊重,不是靠別人的施捨得來的,而是靠自己的實力贏得的。'”
“今天,我站在這裏,面對全球光刻技術領域,最頂尖的專家團隊,我感到非常榮幸,但也誠惶誠恐。
因爲我知道,在座的各位,每一位都有着比我更加深厚的學術積累,和更加豐富的工程經驗。”
“但我同樣相信,在科學研究和技術創新的道路上,年齡、資歷、背景,都不是決定性的因素。
決定性的因素,是你能不能提出真正有價值的問題,能不能找到真正有效的解決方案,能不能將理論和實踐,完美地結合起來。
“接下來,我將向各位彙報我和我的團隊,在計算光刻領域的一些探索和思考。
這些工作,還很初步,還有很多不足之處。我真誠地希望,能夠得到各位專家的批評和指正。”
劉欣的開場白,不卑不亢,既表達了對ASML專家團隊的尊重,也巧妙地傳遞了自己的自信和立場。
她沒有刻意迴避自己的龍國背景,和團隊的技術積累,反而用一種充滿智慧和力量的方式,將其轉化爲一種獨特的優勢和魅力。
在場的ASML專家們,都不由得對這位來自東方的年輕女學者,刮目相看。
接下來,劉欣開始了她的技術報告。她沒有透露任何與拂曉硬件平臺相關的具體參數,而是將重點放在了朱雀算法,在理論層面的創新和優化上。
她深入淺出地講解了,基於稀疏表示和壓縮感知的新型OPC算法框架,展示了其在提升計算效率,和處理複雜圖形方面的巨大潛力。
同時,她也坦誠地指出了,當前算法在收斂性和魯棒性方面,存在的一些挑戰,並提出了自己的一些思考和解決思路。
她的報告,邏輯清晰,論證嚴謹,既有理論高度,又有實踐深度,充分展現了她紮實的學術功底,和敏銳的洞察力。
在場的ASML專家們,聽得非常認真,不時有人低頭記錄,或者提出一些深入的問題。
劉欣都一一給予了耐心而專業的解答。
報告結束後,會議室裏響起了熱烈的掌聲。範德文CTO帶頭鼓掌,臉上帶着由衷的讚賞,和一絲難以掩飾的複雜神色。
“劉博士,您的報告,非常精彩!”他由衷地讚歎道:“您和您的團隊,在計算光刻領域取得的進展,令人印象深刻。
特別是您提出的,基於稀疏表示的新算法框架,爲我們打開了一扇全新的窗戶。”
他頓了頓,話鋒一轉道:“不過,我注意到,您的報告,主要集中在算法層面。
我們非常好奇,您和您的團隊,是否已經將這些算法,應用於實際的曝光系統中?
如果已經應用,效果如何?是否遇到了一些在仿真中,未曾預料到的工程問題?”
範德文的問題,再次精準地指向了,劉欣最想迴避的核心,算法與拂曉硬件平臺的結合情況。
劉欣心中微微一緊,但臉上依然保持着平靜的微笑。
她端起面前的水杯,輕輕抿了一口,然後放下杯子,目光平靜地迎向範德文說道。
“範德文先生,您這個問題,問得非常到位。算法,終究是要服務於實際系統的。
我們確實正在進行,算法與硬件平臺的集成驗證工作。
不過,由於涉及到一些尚未公開的技術細節和商業機密,恕我暫時無法透露具體的情況。”
她頓了頓,然後,彷彿做出了一個重大的決定,緩緩說道:“不過,爲了表示我們對與ASML,進行真誠技術交流的誠意,我願意向各位展示一段,我們最近在內部進行的一次,針對特定測試圖案的曝光實驗結果。”
她說完,在筆記本電腦上操作了幾下,然後投影屏幕上,出現了一張清晰的掃描電子顯微鏡圖像。
圖像上,是一排排線條清晰、邊緣銳利、間距均勻的納米級線條。圖像的左下角,標註着一行小字: “Line/Space = 100nm / 100nm. Process: Immersion Lithography. Source: Internal.”
會議室裏,瞬間安靜了下來。
100納米等寬等距線條!而且,是通過浸沒式光刻工藝實現的!
這個結果,雖然比ASML內部已經取得的浸沒式光刻實驗結果,在分辨率上還有一些差距。
但考慮到對方所使用的研究平臺和資源投入,這個成果的含金量,已經足以讓在場的所有ASML專家,感到震驚和忌憚。
這意味着,那個來自東方的幽靈,不僅在計算光刻算法上取得了領先,在浸沒式光刻的實際工藝驗證方面,也已經邁出了堅實的一步。
範德文CTO的臉色,瞬間變得極其凝重。他死死地盯着屏幕上那張SEM圖像,彷彿想從上面找出任何一絲僞造或誇大的痕跡。
但他找不到。以他多年的經驗來判斷,這張圖像,是真實的。
他緩緩摘下眼鏡,用麂皮絨布,反覆擦拭着鏡片。他的動作很慢,彷彿在藉此平復內心翻江倒海的情緒。
他意識到,他精心設計的這場請君入甕的戲碼,正在逐漸演變成一場,他越來越難以掌控的亮劍對決。
而對方亮出的劍,比他預想的,要鋒利得多。
會議室裏,那張100納米線寬的SEM圖像,如同投入平靜湖面的巨石,激起了層層疊疊的漣漪。
ASML的專家們,再也無法保持之前那種輕鬆而自信的姿態。
他們低聲交談着,目光不時瞟向屏幕上那張圖像,又瞟向劉欣,眼神中充滿了震驚、忌憚,以及一絲難以掩飾的困惑。
範德文CTO戴上眼鏡,重新看向劉欣。他的目光,比之前任何時候都要複雜。
他沉默了片刻,才緩緩開口,聲音帶着一絲不易察覺的沙啞說道。
“劉博士,感謝您的坦誠和分享。這個實驗結果,非常具有說服力。
它證明了你和你的團隊,不僅在算法理論上取得了領先,在將理論轉化爲實際工藝能力方面,也取得了令人矚目的進展。”
他頓了頓,彷彿在斟酌着措辭說道:“我想,我們之前可能都低估了,貴方的技術實力和研發速度。
基於今天交流所獲得的新信息,我認爲,我們雙方有必要,重新評估一下,未來合作的可能性和基礎。”
劉欣心中微微一凜。她知道,她亮出的這張底牌,已經成功地讓ASML方面,不得不重新審視他們的地位和實力。
但她也清楚,這同樣可能激起ASML更強烈的戒心,和更猛烈的反擊。
“範德文先生過獎了。”劉欣謙遜地回應道。
“我們只是在一個正確的技術方向上,做了一些應該做的工作。
與ASML數十年的技術積澱,和工程經驗相比,我們還有很長的路要走。
我們非常珍視與ASML這樣的全球技術領導者,進行交流和學習的機會。
我們也始終相信,開放合作,比封閉對抗,更能推動技術的進步,和產業的發展。”
她的回應,不卑不亢,既承認了差距,也重申了合作的意願,展現了一個成熟技術專家的格局和風度。
接下來的交流,氣氛發生了一些微妙的變化。ASML的專家們,提問更加謹慎,也更加深入。
他們不再試圖試探劉欣的底線,而是更多地聚焦於一些,共同關心的技術難題,和未來發展趨勢的探討。
劉欣也相應地調整了自己的策略,在保護核心機密的前提下,儘可能地分享了一些,有價值的技術見解和思考。
上午的技術交流會,在一種表面平靜,實則各自心懷鬼胎的氣氛中,告一段落。
午餐時間,德弗裏斯先生陪同劉欣,在ASML的員工餐廳用餐。餐廳寬敞明亮,食物種類豐富,味道也不錯。
劉欣一邊用餐,一邊不動聲色地觀察着,周圍ASML員工的精神面貌和工作狀態。
她發現,這裏的員工,普遍年輕、自信、充滿活力,工作效率極高。
這讓她對ASML這家公司的組織文化和執行力,有了更加直觀的認識。
下午,按照日程安排,劉欣在德弗裏斯的陪同下,參觀了ASML的部分研發設施和生產線。
當然,她所能看到的,都是ASML精心挑選,和安排的展示面。
核心的浸沒式光刻研發區域,和下一代EUV光刻機的預研區域,她都無緣得見。
儘管如此,這次參觀,依然讓她受益匪淺。她親眼看到了ASML在精密光學加工、系統集成和質量控制方面的,先進技術和嚴謹流程,也感受到了這家公司在光刻機領域,積累的深厚底蘊和強大工程能力。
傍晚時分,一整天的技術交流和參觀活動,終於全部結束。德弗裏斯先生再次駕車,將劉欣送回酒店。
“劉博士,今天辛苦您了。範德文先生對今天的交流成果非常滿意。他希望,在您離開埃因霍溫之前,能夠有機會與您再進行一次單獨的、非正式的會面。”
在酒店門口,德弗裏斯先生轉達了範德文的口信。
劉欣心中微微一動。她知道,這可能是ASML方面,在評估了她的技術實力後,試圖進行更深層次接觸的信號。
“請轉告範德文先生,非常感謝他的盛情邀請。我也很期待,能夠有機會與他進行更深入的交流。”她微笑着回應道。
回到酒店房間,劉欣關上房門,長長地舒了一口氣。
她走到窗前,望着窗外埃因霍溫華燈初上的夜景,心中湧起一股難以言喻的疲憊,但也夾雜着一絲如釋重負的輕鬆。
今天,她成功地完成了謝建軍交給她的任務,在ASML的核心腹地,展現了拂曉團隊的技術實力,同時也收集了大量關於ASML技術現狀,和組織文化的第一手情報。
更重要的是,她用自己的專業素養和從容自信,贏得了ASML技術團隊的尊重。
她讓那些習慣於俯視他人的西方技術精英們,第一次真切地感受到,來自東方的技術力量,已經不再是他們可以隨意輕視和忽視的對象。
她打開筆記本電腦,插入加密U盤,啓動了通訊程序。屏幕上,再次彈出了謝建軍的詢問:“情況如何?”
劉欣沉默了片刻,然後敲下了一行回覆:“一切順利。任務完成。ASML的底牌,我已看清。”
她頓了頓,又補充了一句:“我們的底牌,他們也看到了。100納米。”
屏幕那頭,沉默了幾秒鐘。然後,傳來謝建軍的回覆,只有兩個字:“漂亮。”
劉欣看着那兩個字,嘴角不由得泛起一絲微笑。
她知道,這場跨越萬里的技術交鋒,她贏了。但她也清楚,這只是一個開始。真正的決戰,還在後面。