次日清晨,埃因霍溫機場。
劉欣坐在飛往法蘭克福轉機的候機廳裏,透過巨大的落地窗,望着停機坪上忙碌的地勤車輛和起降的飛機。
昨晚與範德文CTO的單獨會面,持續了近兩個小時。
會面中,範德文一改白天的試探和矜持,更加坦誠地表達了ASML,對於與拂曉團隊建立某種形式合作關係的興趣,甚至暗示,可以考慮在特定項目上進行聯合研發。
劉欣沒有當場做出任何承諾,只是表示會將ASML的意向,帶回國內,向團隊和上級主管部門彙報。
她知道,這趟荷蘭之行,她已經成功地完成了亮劍的任務,讓ASML實實在在地感受到了,來自東方的技術壓力。
至於下一步是戰是和,那將是由謝建軍,和國家層面來決定的事情了。
登機廣播響起,劉欣收回思緒,提起手提箱,走向登機口。
幾個小時後,她將降落在京城首都國際機場,回到那片她熟悉和熱愛的土地,回到星火基地,回到那些與她並肩作戰的戰友們身邊。
而在她身後,埃因霍溫ASML總部的CEO辦公室裏,氣氛卻遠沒有她這般輕鬆。
範德文CTO正站在CEO的辦公桌前,詳細彙報着昨天與劉欣交流的經過,以及她那番亮劍所帶來的衝擊。
“………………她展示的那張100納米線寬的SEM圖像,經過我們內部專家的反覆確認,基本可以判定爲真實可信。
範德文的語氣,帶着一絲難以掩飾的沉重說道:“這意味着,那個幽靈在浸沒式光刻的實際工藝能力上,已經追上了我們,至少兩到三年的研發進度。
而且,他們在計算光刻算法上的領先優勢,可能比我們之前估計的,還要更大。”
CEO坐在辦公桌後,臉色陰沉得可怕。他面前的咖啡,已經徹底涼透,卻一口未動。
他沉默了很久,才緩緩開口,聲音帶着一種壓抑不住的怒意和挫敗感。
“我們......還是低估了他們。不,我們不是低估了他們,我們是根本就沒想到,他們能夠走得這麼快,這麼穩。”
他猛地站起身,走到窗邊,用力推開窗戶,讓初冬寒冷的空氣,猛地灌入溫暖的辦公室。他需要這股冷意,來讓自己發熱的頭腦,冷靜下來。
“範德文,你說,她現在,應該已經坐上回龍國的飛機了吧?”CEO背對着範德文,突然問道。
範德文微微一怔,不明白CEO爲什麼會突然問這個問題,但還是如實回答道:“按照日程安排,她今天上午的航班,應該已經起飛了。”
“走了好,走了好啊......”CEO低聲喃喃道,彷彿在自言自語的說道。
“她再多待幾天,我怕我們那些好不容易建立起來的信心和士氣,會被她徹底瓦解。”
他轉過身,走回辦公桌前,目光重新變得銳利而堅定的說道:“範德文,啓動熔巖計劃吧。”
範德文心中猛地一震。熔巖計劃,是ASML內部最高級別的應急預案之一,只有在認定公司核心技術,和市場地位面臨根本性威脅時,纔會被觸發。
一旦啓動,意味着ASML將不計成本,不惜代價,集中所有資源,在最短時間內,實現浸沒式光刻技術的自主突破和量產,並同時在所有可能的法律和商業領域,對競爭對手發起全面反擊。
“老闆,您確定要啓動熔巖嗎?這個計劃的風險和代價......”範德文忍不住提醒道。
“我確定。”CEO斬釘截鐵地打斷了他說道:“我們已經沒有退路了。
要麼,在浸沒式光刻這個戰場上,徹底擊敗那個幽靈,守住我們的霸主地位。
要麼,就被他們一步步蠶食,最終淪爲二流玩家。沒有第三條路可走。”
他抬起頭,目光與範德文對視,一字一頓地說道:“告訴董事會,告訴全體員工,ASML,從今天起,進入戰時狀態。
範德文沉默了片刻,最終,緩緩地點了點頭說道:“我明白了。我馬上去安排。”
他轉身,大步走出了CEO辦公室。他知道,從這一刻起,全球光刻機產業的競爭,將進入一個全新的、更加殘酷的階段。
一場真正的戰爭,即將打響。
而在萬米高空之上,劉欣正靠在舒適的座椅上,閉目養神。
她並不知道,在她身後,一場由她親手點燃的,席捲全球光刻機產業的風暴,正在以前所未有的速度,加速醞釀。
她只知道,當她回到京城,回到星火基地時,她將有更多的事情要做,更重的擔子要挑。
但她並不畏懼。因爲她知道,她不是一個人在戰鬥。
1998年11月,荷蘭埃因霍溫,ASML總部。
熔巖計劃的啓動,如同一場無聲的地震,在ASML內部引發了劇烈的震盪。
原本就高度緊張的研發節奏,被瞬間推向了近乎瘋狂的境地。
人力資源部門開始在全球範圍內高薪挖角,重點 targets是那些在浸沒式光刻、高折射率材料,以及先進光學設計領域,擁有豐富經驗的頂尖人才。
財務部門則緊急調配了,超過十億歐元的專項研發資金,並削減了部分非核心項目的預算,以確保熔巖計劃擁有充足的彈藥。
在研發中心,原本平行推進的多個技術路線,被迅速整合和聚焦。
所有與浸沒式刻相關的項目,都被提升到了最高優先級。
工程師們開始實行三班倒的工作制度,確保研發設備能夠二十四小時不間斷運轉。
咖啡機和能量飲料的消耗量,呈指數級上升。
範德文CTO親自掛帥,擔任熔巖計劃的總指揮。
他取消了所有非必要的商務旅行和會議,將全部精力都投入到這個項目中。
他每天的工作時間,延長到了十四個小時以上,甚至經常直接睡在辦公室的行軍牀上。
ASML這架龐大的機器,以前所未有的高速和強度運轉起來。
它所散發出的熱量和能量,讓每一個身處其中的人,都感到一種近乎窒息的壓迫感和緊迫感。
與此同時,在美國華盛頓特區,ASML的遊說團隊,也在緊鑼密鼓地活動着。
他們利用ASML在西方半導體產業鏈中的核心地位,以及美國政府對 maintaining technological superiority over China的深層關切,試圖推動美國政府出臺更加嚴格的,針對龍國高端光刻技術獲取的限制措施。
一份份精心撰寫的報告和白皮書,被遞交到商務部、國防部、以及國會相關委員會的案頭。
報告中,將拂曉項目描繪成一個由龍國政府深度支持,旨在竊取西方核心技術,並最終服務於軍事現代化目的的技術掠奪者,呼籲美國政府採取果斷措施,阻止其獲取任何可能提升其技術實力的機會。
雖然瓦森納協定的路子暫時走不通,但ASML希望通過推動美國單邊出口管制的升級,來達到 similar effect。
畢竟,許多關鍵的精密光學元件、特種材料和高端測量設備,都掌握在美國公司手中。
一場從技術研發到產業政策、從商業競爭到地緣政治的全面戰爭,已經悄然打響。
而在大洋彼岸的龍國魔都,淵基地的燈光,同樣徹夜未熄。
劉欣從荷蘭回來後,帶回了大量關於ASML技術現狀,和組織文化的第一手情報。
這些情報,經過鄭律師團隊的整理和分析後,爲拂曉項目的後續研發策略調整,提供了極其 valuable的參考。
謝建軍在聽取了劉欣的詳細彙報後,做出了一個重要的決定,將拂曉三代機的研發目標,從原先的90納米節點,直接提升到65納米節點。
同時,啓動針對45納米節點的預研工作。
這是一個極其大膽,甚至有些冒險的決定。
這意味着,他們需要在更短的時間內,跨越更大的技術臺階。
但謝建軍認爲,ASML啓動熔巖計劃後,必然會以前所未有的速度,推進其浸沒式光刻技術的研發。
如果他們按部就班地按照原定計劃推進,很可能會被ASML重新拉開差距。
只有採取更加激進的策略,纔有可能在這場競賽中,始終保持領先。
“告訴秦師傅,告訴劉欣,告訴陳向東,告訴淵基地和星火基地的每一個人,”謝建軍在項目核心成員的動員會上,聲音斬釘截鐵的說道。
“ASML想用熔巖燒死我們,那我們,就用拂曉的光芒,照亮整個時代!”
“目標:65納米!”
“時間:1999年底!”
“只許成功,不許失敗!”
會議室裏,短暫的沉默後,爆發出一陣雷鳴般的響應聲。
一場決定未來數十年全球半導體產業格局的、真正的巔峯對決,已經在兩個相隔萬里的國度之間,以前所未有的速度和強度,全面展開。
勝負,尚未可知。但雙方都已經亮出了自己最鋒利的爪牙,準備進行一場生死搏殺。
1998年12月,魔都,淵基地。
距離謝建軍下達65納米攻堅令,已經過去了一個多月。淵基地的運轉節奏,比之前任何時候都要緊張。
秦師傅帶領着核心團隊,幾乎住在了車間裏,對拂曉三代機進行着一輪又一輪的硬件升級和調試。
新的投影物鏡系統、更高靈敏度的浸沒單元、以及更高速更精密的工件臺,正在逐步替換掉原有的部件。
然而,65納米節點的挑戰,遠不止硬件升級那麼簡單。
隨着分辨率的提升,光刻膠的靈敏度,線寬粗糙度、以及缺陷控制等工藝問題,都變得更加棘手。
爲了解決這些問題,劉欣帶領的朱雀算法團隊,不得不與國內幾家頂尖的化工,和材料研究所合作,共同開發適用於65納米節點的,新型光刻膠材料和工藝。
這天下午,劉欣剛從外地出差回來,風塵僕僕地趕到淵基地,準備與秦師傅溝通一批,新型光刻膠樣品的測試結果。
她剛走進總裝大廳,就看到秦師傅正站在拂曉三代機旁邊,手裏拿着一張圖紙,眉頭緊鎖,與幾位核心骨幹激烈地討論着什麼。
“秦師傅,發生什麼事了?”劉欣走過去,關切地問道。
秦師傅抬起頭,看到是劉欣,緊鎖的眉頭稍微舒展了一些,但語氣依然帶着一絲凝重:“小劉,你來得正好。我們剛剛發現一個問題,可能比較棘手。”
他指着圖紙上投影物鏡系統的一個局部結構:“爲了實現65納米節點的分辨率,我們對物鏡系統的數值孔徑提出了更高的要求。
但現有的鏡片材料和鍍膜工藝,在滿足高數值孔徑的同時,對深紫外激光的吸收率會顯著上升,導致鏡片在工作過程中發熱加劇,引起熱漂移,影響成像質量。”
“我們嘗試了幾種新的鏡片材料和鍍膜方案,但效果都不太理想。要麼是吸收率降下來了,但折射率均勻性又出了問題。
要麼是折射率均勻性滿足了要求,但抗激光損傷閾值又不夠高。總之,總是無法同時滿足所有指標。”
劉欣接過圖紙,仔細端詳了片刻。她雖然不是光學設計專家,但長期與光刻系統打交道,對物鏡系統的基本原理和關鍵技術指標,也有着相當深入的瞭解。
她沉吟了片刻,突然想起了一件事。
“秦師傅,我記得,我們之前與中科院長春光機所,合作開發了一種新型的氟化物光學晶體材料,據說在深紫外波段的透過率和抗激光損傷性能都非常優異。
不知道那種材料,是否有可能應用於我們的物鏡系統?”
秦師傅聞言,眼睛頓時一亮:“哦?有這種事?我怎麼不知道?”
“那是兩三年前的一個預研項目了,當時主要是爲了驗證材料本身的性能,並沒有考慮具體的應用場景。
項目結題後,相關報告就被存檔了,可能沒有流轉到您手上。”劉欣解釋道:“我回頭讓人把那份報告找出來,您看看是否具有可行性。”
“好!太好了!”秦師傅用力一拍大腿,臉上露出了久違的笑容:“如果那種材料真的像你說的那麼好,那我們的物鏡系統問題,就有救了!小劉,你可是幫了我們大忙了!”
周圍的幾位骨幹,臉上也紛紛露出了振奮的神色。困擾了他們數週之久的一個技術難題,似乎出現了一線解決的曙光。
劉欣微笑着搖了搖頭說道:“秦師傅客氣了。我們都是爲了同一個目標在努力。只要能解決問題,誰發現的並不重要。”
這個小插曲,只是淵基地和星火基地日常工作中,無數個技術攻關場景的一個縮影。
沒有豪言壯語,沒有驚天動地,只有無數個像秦師傅,和劉欣這樣的科研工作者和工程師,在各自的崗位上,默默地貢獻着自己的智慧和汗水,一點一點地,將看似不可能的目標,變成觸手可及的現實。
而就在他們爲了65納米節點的技術難題,而殫精竭慮時,遠在荷蘭的ASML總部,一場針對他們的陰謀,也在悄然推進。
範德文CTO的辦公桌上,擺放着一份由ASML情報部門提交的,關於拂曉項目核心團隊成員的詳細背景調查報告。
報告中,劉欣、陳向東、秦衛國等人的教育背景、工作經歷,以及家庭情況,都被調查得一清二楚。
範德文的目光,在劉欣的照片上停留了片刻。他想起一個月前,那位在埃因霍溫與他侃侃而談,不卑不亢的龍國女學者。
她給他留下了深刻的印象,聰明、自信、冷靜、專業。如果有可能,他真的很希望能夠與她,以及她背後的團隊,進行真誠的合作。
但他知道,在熔巖計劃已經啓動的背景下,這種可能性,已經微乎其微了。
商業競爭,有時候就是這麼殘酷。即使你欣賞你的對手,你也必須全力以赴地去擊敗他。
他拿起桌上的紅筆,在劉欣的名字上,畫了一個重重的圓圈。
然後,他拿起另一份文件,開始仔細閱讀起來。那是一份關於如何通過第三方中介機構,接觸並挖角拂曉項目核心成員的詳細行動計劃。